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微电子制造设备
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DQX等离子清洗机
 
    等离子清洗原理是在真空状态下使电极之间形成高频交变电场,区域内气体在交变电场的激荡下,形成等离子体,活性等离子对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用,使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质,经过抽真空排出,而达到清洗目的。
    等离子体清洗设备作为一种精密干法清洗设备,应用于半导体、厚膜电路、元器件封装前、COG前工序、LED后工序、真空电子、、连接器和继电器等行业的精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。

    特点:
 
★ 所有关键部件全部采用进口,确保设备运行寿命和产品质量
★ PLC或工控机控制,工艺参数、运行时间、工艺过程实  
时监视并显示运行状态包括自动模式和手动模式
★ 自动模式下可同时存储50组不同的配方
★ MFC质量流量计控制(标准配置2路)
★ 真空度:(10~50)Pa                                                 
★ 清洗时间、基础压力、功率、流量设定可调
★ 工作气体压力低、压缩空气压力低、泵热过载、反
应仓泄露、反射功率过大报警
★ 可根据客户工艺定制(在线式)等离子体清洗设备
 
    技术规格:
 
型号
DQX-210
DQX-206
DQX-206A
DQX-206B
DQX-206C
DQX-203
DQX-203A
DQX-203B
等离子频率
13.56MHz
13.56MHz
13.56MHz
13.56MHz
13.56MHz
13.56MHz
13.56MHz
13.56MHz
反应仓尺寸(mm)
500×500×400
450×450×300
450×600×450
450×450×400
500×500×400
320×250×500
300×240×220
360×360×260
真空泵
内置
内置
内置
内置
内置
内置
 
 

 

    产品销售热线:

    电   话:0351-6524057,6521231,6521237,6521687,6520191 
    传   真:0351-6526883
    E-mail:scjs@163.com




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