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太阳能电池生产设备
   太阳能电池自动化设备
   其它生产设备
   太阳能电池片丝印线
   太阳能单/多晶硅片清洗机
 
 

磷硅玻璃腐蚀机

1)主要用于单、多晶硅太阳能电池片生产,刻蚀后的清洗
 
2)工艺流程:
上料→HF腐蚀+氮气鼓泡→QDR+氮气鼓泡+喷淋→ 下料→离心机甩干
 
3)设备采用单臂机械手,其工艺时间可以自行调节。能显示温度曲线、浓度变化曲线,及各个工位的工作状态。酸槽具有自动补液装置,可实现无间断生产。具有设备报警说明,报警历史查询功能。对清洗用纯水有电阻率监测装置,能存储10个以上工艺方案。
 
4)标准工艺下产量:125mm×125mm、156mm×156mm、210mm×210mm的硅片,厚度为160±30——200±30微米的硅片,硅片产能不低于1200片/小时,设备开工率>92﹪,碎片率≤3‰
 
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