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在线式等离子清洗机

在线式等离子清洗机主要针对封装工艺过程中引线框架特性,在引线键合(打线)前进行清洗,去除工件表面微颗粒污染及氧化物,提高表面活性,提高引线键合(打线)能力,防止封装分层。以射频等离子清洗为主要功能,配备自动从料盒内取片、物料传输及送回料盒等辅助功能,实现高自动化等离子清洗,减少人为等因素,降低二次污染及批量式清洗可能出现的损伤几率。
设备主要技术参数:
◆ 外形尺寸(约):
◆ L1650 ×W1000 ×H1650(mm)(不含灯塔)
◆ 反应仓尺寸(铝合金):L450 ×W280×H50(mm)
◆ 系统电源:220×(1±10%)V(AC) 50Hz~60Hz (干泵)
◆ 等离子体频率:13.56MHz
◆ 射频电源功率:(0~600)W可调
◆ 控制方式:采用PLC+触摸屏控制,可同时存储20组不同的配方
◆ MFC质量流量计控制(标准配置2路)
◆ 气体流量:(0~200)ml/min (标准气压,0℃)
◆ 清洗速度:单次清洗时间小于50秒
◆ 单次清洗引线框架数量:4片
◆ 兼容料片尺寸:长150-270(mm)、宽30-85(mm)
◆ 清洗效果:用氮,氩清洗后样片接触角<30°
◆ 具备卡料预防及检测功能
注:部分指标可根据客户要求订制
★ 产品销售热线:
电 话:0351-6524057,6521231,6521237,6521687,6526883 传 真:0351-6526883 E-mail:scjs@163.com 技术连线:13934651832,15935150168 |
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