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在线式等离子清洗机
在线式等离子清洗机主要针对封装工艺过程中引线框架特性，在引线键合（打线）前进行清洗，去除工件表面微颗粒污染及氧化物，提高表面活性，提高引线键合（打线）能力，防止封装分层。以射频等离子清洗为主要功能，配备自动从料盒内取片、物料传输及送回料盒等辅助功能，实现高自动化等离子清洗，减少人为等因素，降低二次污染及批量式清洗可能出现的损伤几率。
设备主要技术参数：
◆ 外形尺寸（约）:
◆ L1650 ×W1000 ×H1650（mm）（不含灯塔）
◆ 反应仓尺寸（铝合金）：L450 ×W280×H50（mm）
◆ 系统电源:220×(1±10%)V(AC) 50Hz～60Hz （干泵）
◆ 等离子体频率：13.56MHz
◆ 射频电源功率：（0～600）W可调
◆ 控制方式：采用PLC+触摸屏控制，可同时存储20组不同的配方
◆ MFC质量流量计控制（标准配置2路）
◆ 气体流量：(0～200)ml/min （标准气压,0℃）
◆ 清洗速度：单次清洗时间小于50秒
◆ 单次清洗引线框架数量：4片
◆ 兼容料片尺寸：长150-270（mm）、宽30-85（mm）
◆ 清洗效果：用氮，氩清洗后样片接触角＜30°
◆ 具备卡料预防及检测功能
注：部分指标可根据客户要求订制
★ 产品销售热线：
电 话：0351-6524057，6521231，6521237，6521687，6526883
传 真：0351-6526883
E-mail：scjs@163.com
技术连线：13934651832,15935150168 |
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