English
清洗设备与洁净产品
   半导体清洗设备
   太阳能电池清洗设备
   干法清洗设备
   其它设备
   洁净类设备及配件
 
 

硅/晶片清洗机

 

 

   适用于2"~8"基片的半导体清洗工艺中,有效去除硅/晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元,各部分有独立控制,随意组合;可根据用户要求配置氮气枪、DI水枪、恒温水浴、热台、超声清洗、DI水在线加热装置、 DI水电导率测试仪等。设备结构紧凑,净化占地面积小,造型美观、实用,操作符合人机工程原理。可根据客户工艺定制。

  用途:

   ★ 炉前清洗:扩散前清洗。
   ★ 光刻后清洗:除去光刻胶。
   ★ 氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
   ★ 抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。
   ★ 外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。
   ★ 合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。
   ★ 离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。
   ★ 扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。
   ★ CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。
   ★ 附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物
 

  备注:设备外壳采用进口PP板,也可使用经过FM认证的PVC板(日本进口,该材料具有阻燃性,为无尘室最佳可选材料)。

     ★ 产品销售热线:

    电   话:0351-6524057,6521231,6521237,6521687,6526883 
    传   真:0351-6526883
    E-mail:
scjs@163.com
    技术连线:13934651832,15935150168




客户名称:
留言专区:
公司名称:
联 系 人:
传  真:
联系电话:
E - mail:
留言标题:
留言内容:
  吉祥坊体育官网版权所有

地 址:中国太原和平南路115号 邮 编:030024 晋ICP备12006046号-1
销售热线:0351-6521687, 6520879, 6523501(FAX)  E-mail:postmaster@ersuo.com 推一把28推百度